M470第四代掃描探針系統(tǒng)

M470*的平衡了高掃描率、高分辨率和高精度建立了解決空間電化學(xué)測量的全新標(biāo)準(zhǔn)。

       出色的性能:

       快速精確的閉環(huán)定位系統(tǒng)為帶你花些掃描探針那墨跡研究的需求而特別設(shè)計。結(jié)合Uniscan堵車的混合型32-bitDAC技術(shù)，用戶可以選擇審核實(shí)驗(yàn)研究的佳配置。

       *、靈活的工作平臺:

       系統(tǒng)可提供9種探針技術(shù)，使得M470成為靈活的電弧寫掃描探針工作平臺。

M470 定位系統(tǒng):

       超高分辨率掃描平臺允許更長的行進(jìn)距離

M470全新一代掃描平臺擠成了更高的分辨率、更長的行進(jìn)距離以及掃描速率。

新交流掃描（ac-）和間歇接觸（ic-）掃描探針技術(shù)，提供壓電為在Z軸方便精確定位，以探表面形貌。

采用20-bitDAC控制壓電范圍以及控制定位到0.09nm，M470增強(qiáng)了重復(fù)性、加快了掃描速度、縮短了測試樣品時間，這使得M470可以應(yīng)用于非穩(wěn)態(tài)系統(tǒng)的研究。

M470產(chǎn)品特征：

? SECM 自動處理曲線
? SECM用戶自定義處理曲線步長變化
? 高分辨讀取
? 手動或自動調(diào)節(jié)相位
? 傾斜校正
? X或Y曲線相減（5階多項(xiàng)式））
? 2D 或3D快速傅里葉變化
? 試驗(yàn)探針移動和區(qū)域繪圖的自動排序
? 圖形實(shí)驗(yàn)測序引擎（GESE）
? 支持多區(qū)域掃描
? 所有實(shí)驗(yàn)多個數(shù)據(jù)視圖
? 峰值分析

M470技術(shù)參數(shù)

工作站（所有技術(shù)）

掃描范圍（x,y,z）              大于100nm

掃描驅(qū)動分辨率                 高0.1nm

閉環(huán)定位                           線性零滯后編碼器，直接實(shí)時讀出x,z和y位移

軸分辨率（x,y,z）             20nm

大掃描速度                    12.5mm/s

測量分辨率                       32-bit解碼器@高達(dá)40MHz

壓電（ic-和ac-掃描探針技術(shù)）

振動范圍                          20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量

小振動分辨率                0.12nm(16-bit DAC,4μm)

壓電晶體伸展                   100μm

定位分辨率                      0.09nm(20-bit DAC ,100μm)

機(jī)電

掃描前端                         500×420×675mm(H×W×D)

掃描控制單元                  275×450×400mm(H×W×D)

功率 250W